雙溫區(qū)管式爐采用精密鋼板制作,表面靜電噴塑,外形美觀。工作室由剛玉管制成,加熱元件根據(jù)溫度需要匹配(硅碳棒或硅鉬棒),保溫材料為輕質(zhì)保溫保溫加硅酸鋁耐火纖維棉,與電爐配套的溫控部分采用PID可調(diào)智能儀表控制可對(duì)多個(gè)程序段進(jìn)行編程控制產(chǎn)品的燒成過(guò)程,并具有過(guò)流、限流、過(guò)熱等保護(hù)功能。
雙溫區(qū)管式爐主要用于高校實(shí)驗(yàn)室、工礦企業(yè)實(shí)驗(yàn)室,用于高、中、低溫CVD工藝,如碳納米管的開(kāi)發(fā)、晶體硅襯底涂層、金屬材料擴(kuò)散焊和真空或氣氛中熱處理等設(shè)備必須按照操作規(guī)范使用,還應(yīng)注意以下幾點(diǎn):
1、檢查氣路是否暢通或泄漏。首先正確連接管道,然后放空氧氣。氧氣進(jìn)入吸收瓶,產(chǎn)生正常氣泡,說(shuō)明氣路正常,否則說(shuō)明氣路堵塞或瓷管破裂,應(yīng)該正常處理。
2、打開(kāi)電源,打開(kāi)控制器,先將雙溫區(qū)管式爐的工作溫度預(yù)設(shè)為1250℃,然后將電壓調(diào)至60V,加熱半小時(shí),然后將電壓調(diào)至100V,再加熱半小時(shí),調(diào)至150V后,升溫至1250℃。如果不按照逐漸升高電壓并保證足夠時(shí)間的方法升溫,硅碳棒和瓷管很容易被快速加熱破壞,因此必須嚴(yán)格遵守此程序,以避免大量材料浪費(fèi)。
3、工作溫度保持在1250℃左右即可分析樣品;分析結(jié)束后,將電壓調(diào)至零,關(guān)閉控制器開(kāi)關(guān),關(guān)閉電源,分析結(jié)束后關(guān)閉氧氣表閥門(mén)和氣瓶總閥。