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6單溫區(qū)CVD真空管式爐

簡要描述:GSL-1100X-6-S 是一款爐管內(nèi)徑為 6“ 的真空管式爐 , 它可以在Z大5“的基片上生長多種薄膜(在不同氣氛下). 該爐的Z高工作溫度為 1100°C, 采用30段可編程PID數(shù)字溫度控制器,溫控精度: ±1°C。

  • 產(chǎn)品型號:單溫區(qū)GSL-1100X-6-S
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2024-10-21
  • 訪  問  量:1510

詳細(xì)介紹

    GSL-1100X-6-S 是一款爐管內(nèi)徑為  6" 的真空管式爐 , 它可以在zui大5“的基片上生長多種薄膜(在不同氣氛下). 該爐的zui高工作溫度為 1100°C, 采用30段可編程PID數(shù)字溫度控制器,溫控精度: ±1°C。


技術(shù)參數(shù)

爐體結(jié)構(gòu)

  • 雙層殼體,循環(huán)風(fēng)冷
  • 爐體表面溫度< 70 ºC
  • 采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,環(huán)保節(jié)能

工作電壓

AC 220V

功率

8KW

爐管規(guī)格

  • 6" O.D x  40" 
  •  標(biāo)配內(nèi)包含一只石英管多余的管子可單獨(dú)訂購 (點(diǎn)擊下圖查看)

加熱元件

NiCrAl 電阻絲

工作溫度

  • 工作溫度: 400 -1100°C
  • 升降溫速率: 10°C/min(max)

加熱區(qū)

  • 加熱區(qū)總長:    600mm (24'')
  • 恒溫區(qū)長度中心200mm (精度±1°C)
  • 800℃時(shí)爐膛溫度分布曲線點(diǎn)擊下圖查看)    

控溫儀

  • 采用30段可編程PID數(shù)字溫度控制器
  • 設(shè)有一個額外的溫度校準(zhǔn)檢測系統(tǒng)
  • K型熱電偶測溫.
  • 溫控精度: ±1°C
  • 軟件接口、模塊和PC機(jī)不在標(biāo)配內(nèi)需額外訂購
  • 可選: PC接口和軟件

密封法蘭和進(jìn)氣接口

  • 不銹鋼真空密封法蘭雙硅膠密封圈密封真空度可達(dá)到  (機(jī)械泵:10-2 torr、分子泵:10-4 torr).  真空泵不包含在內(nèi)
  •  右端法蘭上設(shè)有一個鎧裝熱偶檢測口和KF40真空接口.   如需對爐膛溫度進(jìn)行校準(zhǔn)請訂購36" 長 x 1/4"dia  K 型熱電偶)
  • 包括兩個高純氧化鋁或石英管堵,設(shè)備使用時(shí)右端必須安裝管堵阻止熱的輻射

產(chǎn)品尺寸

爐體:  1000L x 680W x 920 H  mm

凈重

250Kg

保修期

整機(jī)保修一年,相關(guān)耗材除外。(如密封圈、爐管等)

質(zhì)量認(rèn)證

   Certificate

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