500W直流等離子磁控濺射鍍膜儀--VTC-2DC

簡(jiǎn)要描述：VTC-2DC是一款小型的直流（DC）等離子體磁控濺射鍍膜儀系統(tǒng)，系統(tǒng)中包含了所有所需的配件，如500W（600V）的DC電源、2英寸的磁控濺射頭、石英真空腔體、真空泵和溫度控制器等。對(duì)于制作一些金屬薄膜，它是一款物美價(jià)廉的實(shí)驗(yàn)手。

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更新時(shí)間：2024-10-21
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薄膜制備全套設(shè)備

3靶等離子濺射儀火焰輔助噴霧熱分解涂覆設(shè)備超聲波霧化模塊多功能試樣表面處理機(jī) 小型蒸鍍儀高真空蒸發(fā)鍍膜儀小型磁控射頻濺射鍍膜儀射頻等離子磁控濺射鍍膜儀直流等離子磁控濺射鍍膜儀雙靶磁控濺射儀提拉涂膜設(shè)備旋轉(zhuǎn)涂層設(shè)備（勻膠機(jī)）流延涂覆機(jī) 蒸發(fā)鍍膜設(shè)備磁控濺射鍍膜設(shè)備等離子鍍膜設(shè)備熱噴涂鍍膜設(shè)備/靜電紡絲鍍膜設(shè)備濺射源及真空腔體查看全部產(chǎn)品

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詳細(xì)介紹

VTC-2DC是一款小型的直流（DC）等離子體磁控濺射鍍膜儀系統(tǒng)，系統(tǒng)中包含了所有所需的配件，如500W（600V）的DC電源、2英寸的磁控濺射頭、石英真空腔體、真空泵和溫度控制器等。對(duì)于制作一些金屬薄膜，它是一款物美價(jià)廉的實(shí)驗(yàn)手。
用直流磁控濺射儀可獲得單相Al膜

技術(shù)參數(shù)

輸入電源	220VAC 50/60Hz, 單相 1000W (包括真空泵）
等離子源	一個(gè)500W，600V的直流電源安裝在移動(dòng)柜內(nèi)(點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料）
磁控濺射頭	一個(gè)2英寸磁控濺射頭（帶有水冷夾層），采用快速接頭與真空腔體相連接靶材尺寸: 直徑為50mm,zui大厚度1.5mm 一個(gè)快速擋板安裝在法蘭上（手動(dòng)操作，見圖左3）濺射頭所需冷卻水：流速10ml/min（儀器中配有一臺(tái)流速為16ml/min的循環(huán)水冷機(jī)）同時(shí)可選配1英寸濺射頭
真空腔體	真空腔體：160 mm OD x 150 mm ID x 250mm H，采用高純石英制作密封法蘭:直徑為165 mm . 采用金屬鋁制作，采用硅膠密封圈密封一個(gè)不銹鋼網(wǎng)罩住整個(gè)石英腔體，以屏蔽等離子體真空度：10-3 Torr （采用雙極旋片真空泵）， 10-5 torr （采渦旋分子泵）
載樣臺(tái)	載樣臺(tái)可旋轉(zhuǎn)（為了制膜更加均勻）并可加熱載樣臺(tái)尺寸：直徑50mm （zui大可放置2英寸的基片）旋轉(zhuǎn)速度：1 - 20 rpm 樣品的zui高加熱溫度為700℃，(短期使用，恒溫不超過1小時(shí))，長(zhǎng)期使用溫度500℃ 控溫精度+/- 10℃
真空泵	可選用直聯(lián)式雙極旋片泵,也可選用德國(guó)制作的分子泵系統(tǒng)
薄膜測(cè)厚儀	一個(gè)精密的石英振動(dòng)薄膜測(cè)厚儀安裝在儀器上，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)薄膜的厚度，分辨率為0.10 ? LED顯示屏顯示，同時(shí)也輸入所制作薄膜的相關(guān)數(shù)據(jù)
外形尺寸
重量	70Kg
質(zhì)保和質(zhì)量認(rèn)證	一年質(zhì)保期，終生維護(hù) CE認(rèn)證
使用注意事項(xiàng)	為了得到較好的金屬膜，特別是針對(duì)易氧化的金屬，如Al, Mg和Li等，必須通入高純惰性氣體（> 5N）強(qiáng)烈建議采用PPM極的氣體凈化系統(tǒng)（將鋼瓶中的惰性氣體通過凈化系統(tǒng)過后，再導(dǎo)入到真空腔體內(nèi)）我們也可在設(shè)備中安裝射頻(RF)電源，用于濺射非導(dǎo)電靶材，來制備非金屬薄膜