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簡要描述：OTF-1200X-RTP-II是一款快速蒸發(fā)管式爐，專門針對于用PVD或CSS法來制作薄膜。此款管式爐爐管直徑為11" OD，爐管內(nèi)載樣盤可放置3" 的圓形或2"x2"的方形基片。加熱元件為兩組紅外燈管，分別安裝在腔體的頂端和底部，其升溫速率高達20?C/S 。溫控系統(tǒng)為PID30段程序化控制，控溫精度為+/-1?C。儀器面板上帶有RS485接口，若儀表內(nèi)配有控溫軟件，就可將升溫程序和曲線導(dǎo)出
產(chǎn)品型號： 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時間：2024-10-21訪 問 量：2137相關(guān)文章
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技術(shù)參數(shù)
真空腔體 |
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真空法蘭 |
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混氣系統(tǒng) | 可以選擇兩路的混氣系統(tǒng)于此款管式爐搭配使用（本公司生產(chǎn)多路浮子和多路質(zhì)子混氣系統(tǒng)）
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加熱元件和載樣臺 |
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兩個K型熱電偶分別安裝在上下法蘭上 |
溫控系統(tǒng) |
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工作溫度 |
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加熱和冷卻速率 |
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電源 | 208 - 240VAC, 單相, （需20A的空氣開關(guān)） |
可選配件 |
本公司出售真空泵和水冷系統(tǒng)
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質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期 (不包括爐管、密封圈和加熱元件損耗件 ) |
| 質(zhì)量認證 |
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| 相關(guān)文獻 |
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