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1200℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)-OTF-1200X-80-I-F3LV

簡(jiǎn)要描述:OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通過(guò)CE認(rèn)證的單溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用機(jī)械泵,供氣系統(tǒng)為三路浮子供氣系統(tǒng),其真空度可達(dá)到 10-2 torr.

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2024-10-22
  • 訪  問(wèn)  量:2486

詳細(xì)介紹

  OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通過(guò)CE認(rèn)證的單溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用機(jī)械泵,供氣系統(tǒng)為三路浮子供氣系統(tǒng),其真空度可達(dá)到 10-2 torr.

技術(shù)參數(shù)

高溫爐殼體

  • 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),使得殼體表面溫度小于55
  • 內(nèi)爐膛表面涂有1750℃進(jìn)口氧化鋁涂層材料提高反射率及爐膛潔凈度

功率

2.5 KW

電壓

AC 208-240V 單相, 50/60 Hz 

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁合金(表面涂有氧化鋯涂層,使其zui大程度延長(zhǎng)使用壽命)

zui高工作溫度

1200

連續(xù)工作溫度

1100

zui快升溫速率

<= 20 

爐管材質(zhì)和尺寸

石英管: OD: 80mm x  ID: 75 mm x Length: 1000 mm 

加熱區(qū)長(zhǎng)度

400 mm

恒溫區(qū)長(zhǎng)度

150  (+/-1 )

控溫系統(tǒng)

  • PID30段程序化控溫  
  • 控溫儀表操作視頻

控溫精度

+/- 1 

 

真空密封系統(tǒng)

 

 

 

(點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料)

兩個(gè)不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計(jì)和截止閥),zui大漏氣率6 mtorr/min

真空泵

采用雙旋機(jī)械泵,機(jī)械泵上安裝有油污過(guò)濾器,可以過(guò)濾真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的油煙,減少泵油的損耗,保護(hù)環(huán)境和人體健康,過(guò)濾的zui小微粒直徑為0.3微米。

數(shù)字式真空顯示計(jì)

 

  • 美國(guó)進(jìn)口CVM-211數(shù)顯真空計(jì),已安裝在不銹鋼法蘭上,測(cè)量范圍為10-4Torr~1000Torr
  • 可選:本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì),其測(cè)量范圍為3.8x10-5  1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。

混氣系統(tǒng)

  • 三個(gè)浮子流量計(jì)(準(zhǔn)確率4%FS)
  • 三路浮子量程分別為
  • 10-100 cc/min.
  • 16-160 cc/min.
  • 25-250 cc/min
  • 內(nèi)部安裝有一混氣罐 

尺寸

  • 爐體尺寸: 550 x 380 x 520mm
  • 混氣系統(tǒng)尺寸: 600x600x597 mm

凈重

60kg

運(yùn)輸重量

200

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期(不包括爐管 、加熱元件和密封圈的損耗件)

 CE Certificate  

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