當(dāng)前位置:首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > > CVD、PECVD設(shè)備 > OTF-1100X11Z3LV CVD
簡(jiǎn)要描述: OTF1100X11Z3LV CVD system consists of 11" diameter three zone tube furnace with mechanical vacuum pump system (up to 10-2 torr ) and 6 channel precision digital Mass flow-meters, which can control nine types of gases for CVD or diffusion
產(chǎn)品分類(lèi)
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我公司供應(yīng)的產(chǎn)品符合國(guó)家有關(guān)環(huán)保法律法規(guī)的規(guī)定(含采購(gòu)商ISO14000環(huán)境體系要求),不會(huì)造成環(huán)境污染;
該產(chǎn)品符合采購(gòu)商O(píng)HSMS18000職業(yè)安全健康管理體系標(biāo)準(zhǔn)的要求,不會(huì)對(duì)接觸產(chǎn)品的人員健康造成損害!
主要特點(diǎn): 采用電阻絲加熱;30段程序控溫;3個(gè)獨(dú)立溫區(qū),可通氣氛抽真空
設(shè)備的控制系統(tǒng),具有安全可靠、操作簡(jiǎn)單、控溫精度高(專(zhuān)家PID控制)、保溫效果好、溫度范圍大、爐膛溫度均勻性高、可通氣氛抽真空等特點(diǎn)。
技術(shù)參數(shù):
功率: 8 Kw
電源:AC220V , 50/60 Hz (使用時(shí)需配 50A空氣開(kāi)關(guān))
加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁合金
zui高溫度: 1100 oC
長(zhǎng)期使用溫度: 1000 oC
zui快升溫速率: ≤ 10 oC /min
爐管尺寸及材質(zhì): 石英管;外徑279 x內(nèi)徑269 x長(zhǎng)度1524mm
加熱區(qū)長(zhǎng)度:三個(gè)溫區(qū)分別是300 mm + 300 mm + 300mm
溫區(qū)總長(zhǎng): 900 mm
恒溫區(qū)長(zhǎng)度: 500 mm ( 在恒溫區(qū)內(nèi)溫度誤差 ± 1oC)
溫度控制器:
三塊30段高精度溫度控制器,可分別單獨(dú)控制每個(gè)溫區(qū)
自動(dòng)PID調(diào)節(jié)功能,可使溫度控制精度保持在± 1oC
設(shè)有自動(dòng)超溫及斷偶報(bào)警功能。
請(qǐng)點(diǎn)擊此處下載 使用操作說(shuō)明書(shū)
熱電偶類(lèi)型: 3只K型熱電偶分別安裝于每個(gè)溫區(qū)
真空密封法蘭:
可直接連接PV軟管
采用雙硅膠O型圈密封可耐溫 300oC
配有氧化鋁絕熱堵頭有效的阻止熱輻射起到保護(hù)法蘭的目的
真空系統(tǒng):
采用雙旋葉機(jī)械泵于分子泵相結(jié)合,zui高真空度可達(dá) 10-3.帕
1臺(tái)分子泵
配有一只電阻規(guī)于電離規(guī)作為檢測(cè)元件
波紋管連接
可選配數(shù)字真空計(jì)(美國(guó)進(jìn)口)
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